半导体气体控制升级之选 —— HORIBA SEC-N100 数字式质量流量控制器

在半导体制造、CVD/PVD 真空工艺、科研级气体控制系统中，气体流量控制精度直接决定工艺稳定性与产品一致性。随着设备数字化升级趋势加快，传统模拟式 MFC 正逐步被数字式质量流量控制器取代。

HORIBA SEC-N100 Series
正是面向高端气体控制场景推出的数字式质量流量控制器系列产品。

一、什么是数字式质量流量控制器？

数字式 MFC（Mass Flow Controller）是在传统热式质量流量检测基础上，集成比例控制阀与数字控制模块，实现：

• 流量检测

• 闭环调节

• 数字通信

• 参数远程设定

于一体的高精度气体控制设备。

二、SEC-N100 系列核心技术优势

1️⃣ 高精度闭环控制

采用热式质量流量检测原理，结合高速数字反馈算法：

• 控制精度可达 ±1% F.S.

• 优异重复性

• 快速响应时间

• 长期零点稳定

特别适合低流量精密控制场景。

2️⃣ 数字通信，系统集成更简单

相比模拟式 0–5V / 4–20mA 输出方式，SEC-N100 支持数字通信接口（如 RS-485 等）：

• 抗干扰能力更强

• 多台设备可组网管理

• 可远程读取流量与报警状态

• 便于半导体自动化系统集成

在智能化气体柜系统中优势明显。

3️⃣ 半导体级气体控制稳定性

在 CVD、PVD、刻蚀、扩散等工艺中：

• 气体流量微小波动会直接影响薄膜厚度

• 控制误差可能带来产品良率波动

SEC-N100 系列通过精密比例阀控制结构与数字补偿算法，有效降低流量波动风险。

三、典型应用场景

✔ 特种气体混配系统

四、为什么越来越多设备升级为数字式 MFC？

随着设备自动化程度提高，数字化气体控制已成为趋势。

五、总结

在高端制造与科研设备领域，气体流量控制已不仅仅是“流量输出”，而是系统精度与稳定性的关键环节。

HORIBA SEC-N100 数字式质量流量控制器：

• 精度高

• 响应快

• 数字化程度高

• 易于系统集成

是面向未来智能制造的可靠气体控制解决方案。