HORIBA SEC-N100质量流量控制器选型需要提供哪些参数？

质量流量控制器通常需要根据实际工况配置。即使同样属于HORIBA SEC-N100系列，不同产品在流量范围、通信方式、密封材料、阀门形式、接头和面间距等方面也可能不同。因此，只提供“氮气、1 SLM”通常还不足以确定完整型号。

对于科研实验、催化反应、气体配比、真空镀膜、CVD/PVD以及设备配套项目，选型前建议至少确认以下10项信息。

一、使用气体或混合气体组成

首先需要确认具体气体名称。N₂、Ar、H₂、He、CO₂和CH₄等气体的物性不同，同一台热式质量流量控制器在不同气体条件下，对应的流量范围可能不同。

如果使用混合气体，还应提供各组分比例、气体纯度，以及是否存在腐蚀性、反应性或易燃性。

SEC-N100系列具有多气体、多量程功能，但可切换范围仍取决于产品硬件配置、密封材料和气体数据库，不能简单理解为任意气体均可自由切换。

二、满量程、常用流量和最低流量

选型时不能只提供最大流量，还应说明设备通常运行在哪个流量区间。

例如，某工艺最大需要1 SLM，但长期工作点只有50 SCCM。如果直接按照最大量程选择，低流量区间的控制表现可能无法达到预期。

建议同时提供：

• 满量程流量

• 常用工作流量

• 最低稳定控制流量

• 是否需要频繁改变流量设定值

HORIBA SEC-N100系列总体覆盖约10 SCCM至1000 SLM，但不同机身规格对应不同的最大流量段，具体气体的可用范围也需要单独核对。

三、入口压力、出口压力和工作压差

MFC通过内部控制阀调节气体流量，因此入口压力和出口压力会直接影响阀门能否正常控制。

选型时应提供实际稳定工作压力，而不是只提供气瓶压力或减压阀的最高显示值。

对于常压排放、真空腔体、背压变化或者上游压力波动较大的系统，还要说明实际工作状态。不同流量规格所需的工作压差并不完全相同，不能只凭接头尺寸判断产品是否适用。

四、需要MFC还是MFM

MFC是质量流量控制器，既能测量流量，也能通过内部阀门进行闭环控制。

MFM是质量流量计，主要用于测量并输出流量信号，不承担主动调节功能。

在HORIBA产品型号中，SEC通常对应质量流量控制器，SEF通常对应质量流量计。

如果希望设备根据设定值自动稳定气体流量，通常需要选择MFC；如果系统已经配置独立调节阀，只需要测量流量，则可以核对MFM方案。

两者外观可能相近，但功能和型号不能直接混用。

五、通信方式和模拟信号

HORIBA SEC-N100系列提供多种通信配置：

• SEC-N102：RS485 F-NET及模拟信号

• SEC-N104：DeviceNet

• SEC-N105：CC-Link及模拟信号

• SEC-N106：PROFIBUS及模拟信号

• SEC-N107：EtherCAT

选型时应确认上位机、PLC或原设备所使用的通信协议，同时核对流量设定信号、输出信号、接插件和供电方式。

通信名称相同并不代表原有线缆、针脚定义和控制程序一定可以直接沿用。例如，同样采用RS485通信，不同通信协议也不一定能够直接兼容。

六、供电和控制方式

不同通信型号所需的供电条件可能不同。

部分数字及模拟型号使用正负15 VDC供电，部分工业总线型号使用24 VDC供电。如果实验室没有现成控制器，还应确认是否需要配套电源、显示单元、控制单元或信号线缆。

改造旧设备时，建议提供原MFC铭牌、接插件照片和控制器型号，以便同时核对供电和信号。

七、密封材料

HORIBA SEC-N100系列可以涉及金属密封和弹性体密封配置。密封形式的选择与气体性质、洁净度要求、泄漏要求及设备成本有关。

对于普通惰性气体和一般实验应用，可以根据整体工况选择；对于高纯气体、腐蚀性气体或者具有特殊泄漏要求的系统，应结合接液材质和密封材料进行确认。

八、阀门形式

质量流量控制器通常需要确认断电时的阀门状态。

常闭型MFC在断电时关闭，适合多数需要切断气路的应用；部分规格可以提供常开型。是否允许设备断电后继续通气，应结合工艺安全要求和设备控制逻辑确定。

如果只需要流量测量，则应核对SEF质量流量计，而不是选择带控制阀的SEC型号。

九、接头、管径和面间距

VCR、Swagelok卡套及其他接口不能只按照“1/4英寸”笼统确认，还需要核对：

• 接头类型和公母形式

• 管径尺寸

• 气体入口和出口方向

• 两端接头之间的面间距

• 产品宽度及设备安装空间

• 顶部或侧面的接插件位置

旧设备替换时，面间距和接插件方向尤其重要。即使流量和通信信号一致，如果机械尺寸不同，也可能无法直接安装。

十、新项目选型还是旧型号替换

新项目应尽量提供气路图、控制方式和预期工作范围。

旧设备替换则建议提供完整铭牌照片、原型号、使用气体、流量范围、接头、供电、信号以及设备故障情况。

不要只根据型号前半段判断产品能否替换。SEC-N112、SEC-N122、SEC-N132、SEC-N142和SEC-N172等流量规格，以及N102、N104、N105、N106、N107等通信配置，都需要结合完整型号后缀进行核对。

SEC-N100选型常见的四个误区

第一，只按照最大流量选型，忽略常用流量和最低控制点。

第二，把多气体、多量程理解成所有气体和量程都可以任意切换。

第三，只核对0-5 V或RS485等信号名称，没有核对供电、针脚定义和具体通信协议。

第四，替换旧MFC时忽略接头形式、面间距和接插件方向。

如何提交选型信息

为了提高选型和报价效率，可以直接按照下面的格式发送：

使用气体：
满量程：
常用流量：
入口压力：
出口压力：
接头形式：
通信或模拟信号：
供电方式：
新项目或旧型号替换：
原型号及铭牌照片：

曦源科学仪器（上海）有限公司提供HORIBA SEC-N100系列产品选型、型号核对、报价及相关技术支持，重点服务上海、江苏、浙江、安徽等华东地区客户。

官方网站：www.xiyuansci.cn
联系电话：13062604980
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说明：本文用于选型前的信息整理，不替代具体型号规格书。最终配置应以实际气体、工况、完整型号及供货确认资料为准。